Сухие вакуумные насосы серии ESR

0
64

Сухие вакуумные насосы типа Рутса (серии ESR) представляют собой многоступенчатые двухроторные агрегаты, характеризующиеся сверхвысокой коррозионной и газохимической устойчивостью рабочих деталей. В их состав входит в качестве одной из ступеней, повышающей скорость откачки, бустерный насос Рутса, который включает два ротора, синхронно вращающиеся в противоположных направлениях с гарантированным зазором между ними. За счет отсутствия трения между роторами, число оборотов которых составляет от 1500 до 3000 в минуту, работа происходит, практически, бесшумно и без вибрации.

Сухие вакуумные насосы серии ESR

Насосы серии ESR характеризуются современной конструкцией с приводом от двигателей постоянного тока с системой интеллектуального управления. Последняя обеспечивает настройку агрегата на различные режимы работы с заданной величиной вакуума и переход в режим ожидания при перерывах в работе. Камера и все рабочие детали изготовлены из никелевой нержавеющей стали, состав которой защищен патентом. Производительность (быстрота действия) насосов составляет от 78 до 2760 м3/час. Несмотря на все преимущества, они имеют невысокую стоимость и отличаются экономным расходом электрической энергии, воды для охлаждения и азота для очистки камеры после откачки токсичных, высокоагрессивных и загрязненных газовых смесей. После откачивания нейтральных газов очистка азотом не нужна.

Вакуумные насосы EBARA серии ESR имеют широкую область применения в особых технологиях таких, как термическая обработка в вакууме, нанесение сверхтонких покрытий, осаждение нанопленок, ионно-плазменное травление, вакуумирование гермокамер значительных размеров для подготовки космонавтов.

ESR80WN мал вакуумный насос ESR80WN_2 мал
ESR80WN

Достоинства вакуумных насосов серии ESR:

  • удобная мобильная конструкция с хорошим дизайном;
  • небольшая цена и пониженные расходы на обслуживание;
  • длительный безотказный ресурс работы;
  • большой диапазон регулирования производительности в соответствии с требованиями потребителя;
  • простота наладки и эксплуатации;
  • экологическая чистота, низкий уровень шума и вибрации;
  • качественное исполнение насосов EBARA доказано многими международными сертификатами.

Технические параметры

Характеристики / Модель ESR20N ESR30N ESR80WN ESR200WN ESR300WN ESR500WN
Производительность (быстрота действия), м3/час 78 ‒ 120 90 ‒ 180 240 ‒ 600 600 ‒ 1200 900 ‒ 1800 2760
Предельное остаточное давление, мбар 2.0х10-2 6.7х10-3 2.0х10-3 2.0х10-3 2.0х10-3 2.0х10-3
Тип соединительного фланца KF 40 KF 50 KF 50 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 100
Наибольшая потребляемая мощность, кВт

(при наименьшем остаточном давлении)

2.8 (0.7) 3.5 (1.7) 4.5 (1.0) 5.6 (2.1) 7.5 (2.9) 7.9 (3.1)
Затраты охлаждающей воды, л/мин 2.0 ‒ 8.0 2.0 ‒ 8.0 2.0 ‒ 8.0 2.0 ‒ 8.0 3.5 ‒ 8.0 3.5 ‒ 8.0
Затраты азота на очистку, л/мин 2 ‒ 12 2 ‒ 12 2 ‒ 12 2 ‒ 12 2 ‒ 12 2 ‒ 12
Габариты, ДхШхВ, мм 695 х 280 х 370 760 х 400 х 488 720 х 380 х 705 850 х 380 х 705 825 х 460 х 880 975 х 460 х 880
Масса, кг 105 190 200 250 390 500

Выбор типа и модели насоса за Вами. Если появились затруднения, звоните, приходите, пишите на электронную почту. Наши менеджеры к Вашим услугам. Проконсультируют, расскажут об особенностях каждого насоса, помогут выбрать нужную модель и оформить заказ.