Турбомолекулярные насосы EBARA (Япония)

0
39

Компания Ebara Корпорация EBARA corporation в настоящее время является мировым брендом по выпуску качественных насосов и компрессоров для перекачки жидких и газообразных смесей с высокой производительностью, а также сложнотехнологичных устройств для полупроводниковой индустрии и солнечной вольтаики. Корпорация была создана 106 лет назад в городе Токио и на сегодняшний день является супергигантом, состоящим из нескольких подразделений, работающих в Японии и Италии.

Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно» является официальным представителем корпорации Ebara в России.

Гибридные турбомолекулярные насосы с металлокерамическими подшипниками качения и консистентной смазкой

ТМН EBT220 ТМН EBT450 ТНМ EBT800 ТНМ EBT2400F
EBT220F EBT450F EBT800F EBT2400F

Турбомолекулярные насосы (ТМН) серии EBT-F (TG-F) представляют собой многоступенчатые осевые турбины, которые позволяют создавать и длительно поддерживать глубокий вакуум до 3,8Е-9 мм ртутного столба. К особенностям их работы и конструкции относятся следующие:

  • возможность крепления в горизонтальном, вертикальном, наклонном положении;
  • проектный период безотказной эксплуатации насосов составляет не менее 100 000 часов или 50 лет при номинальных нагрузках;
  • не нужна периодическая смазка опор качения, которые имеют ресурс более 20 000 часов;
  • компактность конструкции агрегата благодаря незначительным габаритам контроллера;
  • малые расходы на электроэнергию и эксплуатационное обслуживание;
  • возможность эффективного применения в промышленности, вплоть до создания жидкокристаллических экранов.
Модель Быстрота действия по N2,
л/сек
Предельное остаточное давление,
мм рт. ст.
Макс. 
потребляемая
мощность, кВт
Макс. форвакуумное давление,
мм рт. ст.
Миним. масса (зависит 
от типа фланца), кг
Миним. время старта, мин
EBT70F (TG70F) 70 3,8Е-9 9 3 2
EBT220F (TG220F) 220 7,5E-9 0,59 2,6 5,5 1
EBT240F (TG240F) 240 7,5E-9 5,3 7,3 7,5
EBT350F (TG350F) 350 7,5E-9 0,61 2,6 6 2
EBT450F (TG450F) 450 7,5E-9 0,61 2,6 7 2
EBT800F (TG800F) 800 7,5E-9 0,61 3,2 26 5,5
EBT1100F (TG1100F) 1100 7,5E-9 0,61 3,2 27 5,5
EBT1400F (TG1400F) 1400 7,5E-9 0,81 3,2 29 5,5
EBT2400F (TG2400F) 2400 7,5E-9 1,2 2 45 5

Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и классическими подшипниками

Основные производственные возможности таких агрегатов:

  • возможность эксплуатации при номинальных нагрузках не менее 100 000 часов;
  • межтехнический сервис через 20 000‒30 000 часов работы;
  • высокая степень откачки газов в широком диапазоне давлений;
  • отпадает потребность в применении двухроторных форвакуумных насосов;
  • допускается использование в агрегатах с засоренными и сильноагрессивными средами;
  • агрегат оснащен вмонтированным средством прочистки опор качения и устойчиво работает в случае прорыва воздуха внутрь насоса;
  • модели насосов после TG 553, имеют водяное охлаждение.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) серии EMT-F (TG-M)

ТНМ EMT390 ТНМ EMT900 ТНМ EMT1300 ТНМ EMT2400
EMT390M EMT900M EMT1300M EMT2400M

Основные показатели гибридных ТМН:

  • конструкция безмасляных насосов с ротором на магнитных подшипниках не требует периодических осмотров и обслуживания;
  • монтаж агрегатов возможен в горизонтальном, вертикальном или наклонном положении;
  • при отключении силового электропитания ротор насоса остается в состоянии магнитной левитации благодаря встроенному аккумулятору вплоть до остановки за счет электрического торможения;
  • долговременный ресурс эксплуатации, так как система автоматического электромагнитного контроля предотвращает контакт ротора с неподвижными элементами устройства;
  • управляющая система задает пуск ротора с малыми оборотами при атмосферном давлении, а после уменьшения величины последнего доводит число оборотов до максимальных значений с целью создания наибольших величин давления и производительности;
  • безвибрационная работа агрегата благодаря постоянной балансировке ротора, происходящей в автоматическом режиме;
  • компактность устройства и энергосберегающий режим работы.
Модель Быстрота действия по N2,
л/сек
Предельное остаточное давление, мм рт. ст. Макс. 
потребляемая
мощность, кВт
Макс. форвакуумное давление, Па Миним. масса (зависит 
от типа фланца), кг
Миним. время старта, мин
TG390M 340 7,5E-10 0,7 400 14 2
TG420M 400 7,5E-10 0,7 400 14 2
TG900M 900 7,5E-10 1,2 500 34 4
TG1300M 1300 7,5E-10 1,2 500 34 4
TG2400M 2400 7,5E-10 1,2 200 45 4
TG3260M 3200 7,5E-10 1,2 400 80 13
TG3460M 3400 7,5E-10 1,2 400 73 13

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора для сверхвысоковакуумных применений с повышенной степенью сжатия легких газов

Насосы с полностью магнитным подвесом ротора и повышенной степенью сжатия легких газов ‒ лучший инструмент для получения сверхчистого и сверхвысокого вакуума!

Гибридные агрегаты обеспечивают качественное удаление легких газов при давлениях, соответствующих сверхчистому вакууму. Проблема применения универсальных ТМН с целью создания сверхвысоких разрежений вакуума состоит в том, что последние не позволяют достичь требуемой величины компрессии легких газов, особенно водорода, а основная часть газовыделений в разреженном пространстве принадлежит как раз водороду. Следует указать, что насосы серий TG-M и TG-MU имеют аналогичные преимущества.

Насосы последней серии получили применение в следующих отраслях науки и техники:

  • в сверхчувствительных приспособлениях, позволяющих исследовать идеальные поверхности;
  • в сверхчистовакуумных технологиях получения нанопленочных покрытий;
  • при изучении параметров электронов с помощью синхротронов.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) серии TG-ML

Особенностями данных насосов являются ультранизкий уровень вибраций при работе и сверхчистый вакуум для нанотехнологий!

Такие насосы работают с ультранизкими вибрациями, а именно:

  • при обычном монтаже величина вибросмещений составляет до 1,0 нм;
  • при специальном монтаже на виброкомпенсирующей основе ‒ не превышает 0,1 нм!

Они обеспечивают выполнение техпроцессов при глубоком разрежении с высокой чувствительностью. Это достигается особенностями устройства насосного оборудования и гибкой программой регулирования числа оборотов ротора. Данные насосы применяются:

  • в электронной микроскопии;
  • в аналитических комплексах с глубоким вакуумом;
  • при EUV-литографии;
  • при научных испытаниях нанотехнологических покрытий;
  • в просвечивающих электронных микроскопах.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) и системой управления температурой

Назначение гибридных насосных агрегатов с управляемой температурой:

  • синтез в вакууме новых полупроводниковых материалов;
  • создание жидкокристаллических экранов;
  • изготовление мониторов различных типов.

Встроенное устройство контроля температуры дает возможность оптимизировать ее величину и регулировать потоки тепла, что приводит к уменьшению осаждения частиц в корпусе насоса. Это позволяет улучшить условия работы насоса в соответствии с жесткими требованиями производства полупроводниковых материалов и повысить надежность агрегата за счет более качественного нагрева рабочей зоны.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) для эксплуатации в условиях радиации

Насосы созданы для надёжной работы в жёстких условиях эксплуатации при наличии радиации!

Насосы для работы в условиях радиации перед началом эксплуатации подвергаются особым испытаниям при критических режимах радиации, например, путем облучения гамма-лучами. После завершения испытаний полная поглощенная доза облучения была равна 50 МГр. Такие насосы используются:

  • при испытаниях военных и гражданских объектов ядерной физики;
  • на атомных электростанциях, судах с ядерным реактором;
  • в диагностической и лечебной технике, использующей радиоактивные изотопы;
  • при исследованиях космического пространства.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) со встроенным блоком управления для работы в жестких условиях

Насосы специально спроектированы и изготовлены для работы в жестких условиях!

Данные ТМН с магнитными подшипниками удовлетворяют жестким требованиям самых сложных техпроцессов, имеют прочную рамную конструкцию, повышенную коррозионную стойкость, встроенные контроллер и блок питания. Все рукоятки управления, выключатель и экран размещены с одной стороны насоса. Это упрощает включение насоса, снижает его стоимость. Может работать в сильно запыленных помещениях, в случае повышенных температур, с загрязненными жидкостями при малом потреблении охлаждающей воды.

Характерными особенностями насосных агрегатов такого типа являются:

  • оптимальное устройство турбины-ротора;
  • компьютерный контроль за состоянием насоса;
  • высокая производительность отвода газовых смесей при широком диапазоне разрежений (давлений);
  • низкая величина шума и колебаний конструкции.

Отрасли использования:

  • создание плоских панелей для солнечной вольтаики;
  • производство стекол, линз, микроскопов;
  • напыление тонкопленочных покрытий;
  • изготовление датчиков утечки;
  • моделирование условий безвоздушного космоса.

Наличие, цену и техническую характеристику насосов, подходящих Вам типов и моделей, можете узнать у наших менеджеров. Звоните, пишите, обращайтесь. Всегда рады помочь!