Вакуумные насосы серии EV-М

0
64

Концерном EBARA создана усовершенствованная серия EV-M сухих вакуумных насосов с меньшими габаритными размерами и улучшенными техническими показателями. Они имеют на 50% уменьшенный расход электроэнергии в сравнении с предыдущей серией EST благодаря приводу от современных бесщеточных двигателей постоянного тока с увеличенным крутящим моментом. Предназначены для откачивания агрессивных и ядовитых сред таких, как трехфтористый азот NF3, фтористый водород HF, хлор Cl2, дихлорсилан SiH2Cl2 и подобных. Отличаются увеличенной скоростью подачи водорода H2, чем вакуумные насосы винтового типа.

Вакуумный агрегат EV-M20N

Достоинства насосов серии EV-M:

  • компактное удобное устройство с уменьшенной массой и габаритами;
  • удобство удаленного регулирования и контроля за счет интеллектуальной системы управления;
  • высокая надежность при пониженных затратах электроэнергии, воды для охлаждения и азота для очистки проточной части;
  • регулировка производительности (быстроты действия) насоса в широких пределах путем изменения частоты вращения двигателя;
  • экологическая чистота и безопасность обслуживания.

Вакуумный насос EV-M102N   Вакуумный насос EV-M802N

Технические параметры

Характеристики/Модель EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M802N
Производительность, м3/час 108 600 1200 1620 3000 4800
Граничное остаточное давление, мбар 5х10-2
Затраты охлаждающей воды, л/мин 3.0 ‒ 8.0 3.5 ‒ 8.0 4.0 ‒ 8.0 5.0 ‒ 8.0
Затраты азота на продувку, л/мин 15 ‒ 18 16 ‒ 20
Тип соединительного фланца 40 KF 100 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K
Наибольшая потребляемая мощность, кВт 2.2 3.8 4.4 4.7 5.7 5.4
Масса, кг 170 320 360 400 500 740
Габариты ДхШхВ, мм 820x370x620 810x380x922 870x380x922 961x380x1000 1015x485x1040 1140x630x1105
Параметры электропитания 200 ‒ 220 / 380 ‒ 440 В, 3 фазы, 50/60 Гц

Если Вам необходимы надежные регулируемые форвакуумные насосы для откачивания ядовитых и агрессивных газов, обратите внимание на приведенное выше оборудование новой серии EV-M. Наши менеджеры помогут выбрать и заказать подходящую модель, а специалисты подключат приобретенный насос и обучат Вашего оператора.