Вакуумные насосы серии PDV

0
60

Вакуум насосы серии PDVВакуумные насосы EBARA серии PDV относятся к высокопроизводительным безмасляным винтовым насосам, предназначенным для создания предварительного чистого разрежения в замкнутых объемах. Нашли широкое применение в процессах производства новых полупроводниковых материалов, нанесения нанопокрытий, создания тончайших пленок, в фотолитографии, биомедицине, фармацевтике, при имитации условий разреженного воздуха в горах и верхних слоях атмосферы.

Конструктивно чистый вакуумный насос серии PDV выполнен в виде двух предельно сбалансированных винтов, вращение которых осуществляется в бесконтактном режиме и синхронизируется электромагнитной муфтой. Он оснащен встроенным жидкокристаллическим монитором, системой самодиагностики, газобалластным баллоном с обратным клапаном на выхлопе, что увеличивает его функциональные возможности по дистанционному управлению, предупреждению сбоев и незапланированных остановок, дает возможность работать с водородом и другими легкими газами, а также с влагосодержащими смесями. В корпусе размещены бесконтактные уплотнения, которые практически не подвержены износу при работе. Так как вращающиеся винты хорошо сбалансированы, работающий агрегат не имеет вибрации, а усилия, действующие на опоры качения, имеют незначительную величину. Период их работы с густой смазкой, заложенной на заводе-изготовителе, достигает 70 000 часов, что намного превышает ресурс работы подшипников многих других видов насосов.

Наиболее рационально использование насосов серии PDV в качестве форвакуумных в составе комплексов с высоковакуумными магниторазрядными, криогенными или турбулентными насосами, рядом с которыми даже минимальная вибрация недопустима. За такими системами производства глубокого вакуума ‒ будущее в вакуумных технологиях.

Вакуум насос PDV250 мал Вакуумный агрегат PDV500 мал
PDV250 PDV500

Технические характеристики

Характеристики/Модель PDV250 PDV250-GB PDV500 PDV500-GB
Быстрота действия, л/мин 230 230 500 500
Быстрота действия с подключенным газовым балластом, л/мин  200 430
Предельное остаточное давление, мбар 5.0х10-3 5.0х10-3 5.0х10-3 5.0х10-3
Предельное остаточное давление с подключенным газовым балластом, мбар 2.0х10-2 2.0х10-2
Соединительный фланец KF 25 KF 25 KF 40 KF 40
Тип охлаждения воздушное воздушное воздушное воздушное
Автоматический клапан газобалласта Подвод сухого воздуха или азота Подвод сухого воздуха или азота
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм 168 х 442 х 273 168 х 442 х 273 185 х 467 х 305 185 х 467 х 305
Масса, кг 15 15 20 20

∗ — Значение приведено для воздуха. В случае откачки иных газов (в том числе легких) значение может отличаться от приведенного.

Преимущества вакуумных насосов EBARA серии PDV:

  • прочная, удобная, переносная конструкция с воздушным охлаждением, обеспечивающая работу без вибрации и шума;
  • невысокая стоимость, низкие эксплуатационные затраты на обслуживание и диагностику;
  • отсутствие в насосе трущихся частей, минимальный износ уплотнений и подшипников;
  • высокая надежность и самый длительный период работы без ремонта среди форвакуумных насосов;
  • стабильное функционирование за счет встроенного стабилизированного источника постоянного тока при аварийных ситуациях в питающей сети, колебаниях силового напряжения;
  • возможность удаленной работы по заданной на дисплее программе с предупреждением сбоев и отказов благодаря системе самодиагностики;
  • экологическая чистота и безопасность обслуживания.

Специалисты концерна EBARA много лет занимаются конструированием и изготовлением насосов винтового типа. Первоначально они предназначались для перекачки загрязненных субстанций. Насосы серии PDV проектировались для эксплуатации с чистыми газами, но неприхотливость в эксплуатации и большая производительность позволила применять их для перекачки влагосодержащих и агрессивных смесей, включающих микроскопические твердые отходы производства полупроводников.

Вакуумные насосы, благодаря отсутствию трущихся поверхностей внутри корпуса, износа бесконтактных уплотнений и потерь на трение, повсеместно заменяют морально и физически устаревшие спиральные и ротационно-лопастные насосы. Если Вам необходимы надежные производительные вакуумные насосы, в которых нечему ломаться, которые не нуждаются в каждодневном уходе и ежемесячной смене уплотнений, обратите внимание на описанные выше насосы серии PDV. Наши менеджеры помогут выбрать и заказать оптимальную марку, а специалисты подключат приобретенный насос и проконсультируют по всем возникшим вопросам.